CVDサセプタ市場規模の成長推移2026：2032年884百万米ドル到達を予測

図. CVDサセプタの製品画像

YH Researchによると、世界のCVDサセプタ市場は2025年の4.28億米ドルから2032年には8.84億米ドルへ拡大し、2026～2032年のCAGRは11.6%と予測される。CVDサセプタは、CVD工程で基板や反応物を支持・加熱し、所定の材料を基板表面へ成膜する高温プロセス用部材である。黒鉛を母材とし、表面にSiCまたはTaCをCVD成膜することで、耐熱性、耐食性、純度を高める。特にSiC単結晶成長、SiCエピタキシャル成長、MOCVDなどの高温半導体工程で不可欠な消耗部材となっている。

図.  CVDサセプタ世界総市場規模

CVDサセプタの構造とSiC・TaCコーティング

CVDサセプタは、TaCコーティングサセプタとSiCコーティングサセプタに大別される。SiCコーティング黒鉛は既に成熟した製品カテゴリーで、MOCVD、Siエピタキシャル、SiCエピタキシャルなど幅広い工程に採用されている。一方、TaCは単純なSiC代替材ではなく、より高温・高腐食環境や厳格なパーティクル、コンタミネーション管理が要求される工程に適する。2026年のSEMICON Chinaでも、TaCコーティング黒鉛部品はSiCエピタキシャル成長やSiC結晶成長向けとして展示され、TaCの高融点を活用した長寿命化が訴求されている。

SiC 8インチ化がCVDサセプタ需要を押し上げる

CVDサセプタ市場の重要な成長要因は、SiCウエハーの6インチから8インチへの移行と、それに伴うエピタキシャル装置の設置台数増加である。8インチ化は単なる大型化ではなく、コーティング面積、膜厚均一性、熱応力、反り・変形、パーティクル、加工精度などへの要求を同時に引き上げる。2026年には6/8インチ対応のSiC-CVDエピタキシャル装置が量産顧客へ展開されていることも確認されており、大口径化はCVDサセプタの高付加価値化を促す要因となる。

CVDサセプタの技術課題は熱場と汚染管理

CVDサセプタでは、温度均一性とコーティング寿命の両立が重要となる。ウエハー径が拡大すると、サセプタ全体の熱分布を均一化する難易度が高まり、熱膨張差による応力や反りも管理対象となる。また、コーティングの欠陥や剥離はパーティクル発生につながり、エピタキシャル層の品質や歩留まりに影響する。このため、黒鉛母材の純度、精密加工、CVDコーティング、洗浄・再生までを一体的に管理する能力が、サプライヤーの競争力を左右する。

消耗品モデルへの移行で市場の収益性が変化

エピタキシャル装置や結晶成長装置の設置台数が増加すると、CVDサセプタ需要は新規装置への搭載だけでなく、稼働設備における定期交換、予備品在庫、保守需要へと広がる。つまり市場構造は設備投資連動型から、装置稼働に伴う継続的な消耗品需要を含むモデルへ移行する。2026年の業界展示でも、SiCエピタキシャル装置では黒鉛サセプタの加工・メンテナンスや低い総保有コストを意識した設計が示されており、長寿命化と交換周期の最適化が重要な競争軸になっている。

主要企業と市場調査の対象範囲

主要企業にはSGL Carbon、Schunk Xycarb Technology、TOYO TANSO、Tokai Carbon、Momentive Technologies、CoorsTek、ZhiCheng Semiconductor、Bay Carbon、Mersen、Ningbo Hiper、LIUFANG TECH、Hunan Xingsheng、Chengdu Ultra Pure Applied Materialsなどが含まれる。市場では、TaC-coated Susceptor、SiC-coated Susceptorを製品タイプ、6インチ、8インチ、Othersをウエハーサイズ、SiC Single Crystal Growth、MOCVD、SiC & Si Epitaxyなどを用途として分析する。

YH Researchの調査では、2021～2025年の実績と2026～2032年の予測を基に、CVDサセプタの販売数量、売上高、平均価格、企業別シェア、業界順位を評価する。さらに日本市場について2021～2026年の企業別販売量・売上高・価格・市場シェアを分析し、北米、欧州、アジア太平洋、南米、中東・アフリカの生産能力、消費量、需要構造まで整理する。今後は8インチ化に対応する大型・高純度サセプタ、TaCによる長寿命化、熱均一性向上、再生・交換サービスの高度化が市場成長を支える重要なテーマとなる。

本記事の内容は、YH Research株式会社の調査レポート「グローバルCVDサセプタのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2026」のデータを基に作成しています。

https://www.yhresearch.co.jp/reports/1256784/cvd-susceptor

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